低壓手動鎖定型隔膜閥

簡要描述：

低壓手動鎖定型隔膜閥特點(diǎn)
?一路進(jìn)二路出的氣流方向
?充分利用空間
?zui小死區(qū)
?釋放出氣
?確保產(chǎn)生的微粒為zui小化
?zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流
?激光打印標(biāo)記；材質(zhì)經(jīng)過獨(dú)立機(jī)構(gòu)測試認(rèn)證
?在潔凈室中進(jìn)行電解拋光，D.I.水處理，裝配，測試和包裝

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詳細(xì)介紹

BDV 低壓手動鎖定型隔膜閥

低壓手動鎖定型隔膜閥

STD型

特點(diǎn)

l 一路進(jìn)二路出的氣流方向

l 充分利用空間

l zui小死區(qū)

l 釋放出氣

l 確保產(chǎn)生的微粒為zui小化

l zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流

l 激光打印標(biāo)記；材質(zhì)經(jīng)過獨(dú)立機(jī)構(gòu)測試認(rèn)證

l 在潔凈室中進(jìn)行電解拋光，D.I.水處理，裝配，測試和包裝。

技術(shù)指標(biāo)

低壓手動鎖定型隔膜閥

尺寸	1/4"	3/8"，1/2"
CV 值	0.3	0.7
孔徑	4.5mm	7.8mm
zui大工作壓力（G.）	17kgf/cm²（1.66MPa）
zui大工作溫度	PCTFE:-10℃-65℃/PFA:-10℃-120℃/PI:-10℃-150℃
內(nèi)泄漏標(biāo)準(zhǔn)（He）測試壓力≤1×10^-2Torr 測試時間≥30秒	≤1×10^-9 atm·cc/sec（1×10^-10Pa·m³/s）
外泄漏標(biāo)準(zhǔn)（He）測試壓力≤1×10^-2Torr 測試時間≥1分鐘	≤1×10^-9atm·cc/sec（1×10^-10Pa·m³/s）
微粒檢測（只用于EP）壓力：60-80PSIN₂氣體樣品流量：1CFM 0.1μm以上	無法計(jì)算

選型	S	4	BDV	VM	IT25	P	S-4-BDV-VM–IT25-C-P
閥體材質(zhì)	S						S:SUS316單級； D:SUS316雙級;
尺寸		4					4：1/4″； 6：3/8″； 8：1/2″；
產(chǎn) 品			BDV				BDV;
連接				VM			VM:公VCR； VF:母VCR； SW:卡套； TW：對焊
氣流方向見下圖	一路進(jìn)二路出				IT25		1T25; 5T12; 1T23; 3T12
級別						P	AP：AP級；空白：B*； P：EP級
其他材質(zhì)	底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄:鋁

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